| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种作为光阻剂之基本性质优异且于形成接触孔图案之际圆形性及CD均一性均优异之敏辐射线性树脂组成物。本发明之敏辐射线性树脂组成物系包含可藉由酸变成硷可溶性之含有酸解离性基之树脂（A）、酸产生剂（B）及溶剂（C），上述树脂（A）可为包含以下列通式（1）及（2）表示之各重复单位者：#P 097130073P01.bmp[R#sP!1#eP!及R#sP!2#eP!各表示氢原子或碳数1~4之可具有取代基之烷基，R#sP!3#eP!表示碳数1~4之可具有取代基之烷基，X表示氢原子、羟基或醯基，m为1~18之整数，n为4~8之整数]。 |
