以经氟化组合物移除污染物之方法

摘要

本发明阐述一种自具有离子植入区域之基材移除污染物之方法。该方法包含将经氟化溶剂及共溶剂之组合物以足以促使自基材移除污染物之量施加于基材。移除污染物时，保留基材上之金属图案或其他期望特征。另外，用于移除污染物之组合物对使用者或基材无害(即，不可燃性及/或非腐蚀性)。