悬吊装置及曝光装置

摘要

本发明之悬吊装置具备用以悬吊支撑物体之连结构件。该连结构件具有连带于该物体之第1构件、与连结于该第1构件之第2构件，该第1构件与该第2构件被连结成相对位置于第1方向受到规定、且能相对与该第1方向不同之第2方向移动。