摘要 |
一种探针卡,包含:一第一平板组,其包括上下相互叠合之一第一上平板及一第一下平板,其中该第一上平板系设有复数个相互平行且穿透该第一上平板之沟槽,而该第一下平板系设有复数个相互平行且穿透该第一下平板之沟槽,且以上该等二平板上所设之沟槽系彼此相互垂直设置,如此当该二平板相互叠合时,可形成一具有穿透该第一平板组之复数个穿孔的阵列;一第二平板组,其包括上下相互叠合之一第二上平板及一第二下平板,同理,其亦利用以上相同之方法以形成一具有穿透该第二平板组之复数个穿孔的阵列;至少一支撑,其设置于该第一平板组及第二平板组间,以使该第一平板组及第二平板组可以一预订之距离大致相互平行设置;以及复数个探针,其各别之两端系分别设置于该第一平板组及第二平板组上彼此相互对应之阵列穿孔中,且该探针之探测端系可穿设并突出于该其中一平板组之外表面。 |