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发明名称
具有背侧重分布层的半导体装置及其制造方法
摘要
本实施例系关于一种具有一背侧重分布层之半导体装置(50)及一种形成该层之方法。特定言之,一实施例包括提供(32)一基板(52),该基板包含一于其中所形成之通道(54)。基板(52)具有一前侧(58)及一背侧(60)。该实施例可进一步包括:在该基板(52)之背侧(60)上形成(34)一沟槽(90),于该沟槽(90)中安置(36)一绝缘材料(100),且在该沟槽(90)中之该绝缘材料(100)上形成(38)一线(130)。
申请公布号
TW200913209
申请公布日期
2009.03.16
申请号
TW097126996
申请日期
2008.07.16
申请人
美光科技公司
发明人
史蒂夫 奥利维;华伦 范沃斯
分类号
H01L23/525(2006.01);H01L23/48(2006.01);H01L21/768(2006.01)
主分类号
H01L23/525(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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