| 摘要 |
本发明之一目的为提供一种能够正确地监视电浆放电之存在且亦正确地监视异常放电之存在的电浆处理装置。本发明之另一目的为提供一种监视该电浆处理装置中之一电浆放电的状态之方法。一放电侦测感测器23附着至一提供于一构成一真空室之盖部2中之开口部2a，在该放电侦测感测器23中，一介电构件21与一探针电极单元22彼此组合。接收根据一电浆放电的改变而在该探针电极22b中所引发之电位的改变，分别由一N型波形侦测部34及V型波形侦测部35侦测特定图案之电位改变波形，及根据由一放电开启波形计数器36、一放电关闭波形计数器37、一异常放电波形计数器38及一泄漏放电波形计数器39针对每一类型波形计数此等电位改变波形之出现次数的计数值来作出包括判断放电是存在或不存在及放电是正常或异常的放电状态判断。 |
