电脑产生的全像，曝光设备，及半导体装置制造方法

摘要

本发明提供一种电脑产生的全像，其藉由将一相位分布授予入射光之一波前而在一预定平面上形成一光强度分布，包含一各向异性层及一等向层，该各向异性层的第一方向中之线性偏振光的折射率不同于该各向异性层的第二方向中之线性偏振光的折射率，第二方向中之线性偏振光垂直于该第一方向中之该线性偏振光，该等向层的该第一方向中之该线性偏振光的折射率等于该等向层的该第二方向中之该线性偏振光的折射率。