原始版资料产生方法、原始版产生方法、曝光方法、装置制造方法、及用于产生原始版资料之电脑可读取储存媒体

摘要

一种原始版资料产生方法，包含：根据表示由照明光形成于投射光学系统的光瞳平面上的光的强度的分布函数以及用于投射光学系统的光瞳函数，计算二维传送交叉系数；根据计算的二维传送交叉系数以及投射光学系统的物件平面上的第一图案，计算近似的空气中影像，近似的空气中影像是藉由以空气中影像的多个成份中至少之一来近似投射光学系统的影像平面上的空气中影像而取得的；根据近似的空气中影像，在物件平面上产生具有第一图案的进一步图案以及辅助图案；以及，产生原始版资料，原始版资料包含图案，所述图案是藉由使用产生处理所产生的进一步图案作为物件平面上的第一图案而重复地执行计算及产生处理而产生的。