终端效应器及应用其传送基板之机械装置

摘要

于一基板传送机器手臂中，一末端受动器包含一肘板、一第一叶片以及一第二叶片。第一叶片朝一垂直方向而可移动地连接至肘板以支撑一第一基板。第二叶片连接至肘板以支撑一第二基板，其中第二叶片系与第一叶片邻接。一升降单元使第一叶片朝上移动以允许第一叶片支撑第一基板，并使第一叶片朝下移动以允许第二叶片支撑第二基板。