藉由嵌段共聚物以形成精细图样的方法

摘要

本发明系关于一种图样化一基板之方法，其包括加工该基板之第一区以形成一第一图样，该等第一区界定在相邻第一区之间的第二区；将一嵌段共聚物排列于第一及第二区上，该嵌段共聚物包括一第一组份及一第二组份，将该嵌段共聚物之该第一组份于该等第一区上对准；及选择性移除该嵌段共聚物之该第一组份及该第二组份中之一者，以形成一具有一小于一第一区与一相邻第二区之间距之间距的第二图样。