发明名称 切割装置
摘要 本发明之实施形态的切割装置(1),藉由将油盘(20)配置于X台(16,18)之正下方,而充分确保油盘(20)之容积且提高排水性。又,覆盖使X台(16,18)朝X方向随意移动而引导的导轨(22,36)、及滚珠螺杆(24,38)之各一对之波纹管(34,46)也同样地沿着油盘(20)之侧面配置于笔直方向。附着于波纹管(34,46)的端材由于本身重量而沿着波纹管(34,46)流下,落下到具有充分容积的油盘(20)而排出。藉此,端材不致堆积在波纹管(34,46),故可防止由于端材堆积引起的波纹管(34,46)之破损。
申请公布号 TW200911455 申请公布日期 2009.03.16
申请号 TW097132323 申请日期 2008.08.25
申请人 东京精密股份有限公司 发明人 伊藤纯一
分类号 B24B27/06(2006.01);B24B55/12(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 B24B27/06(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;丁国隆
主权项
地址 日本
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