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发明名称
间隙阀门
摘要
本发明提供一种用于密封在一个容室中之开口的间隙阀,其中该间隙阀包括有一个具有一个内部表面以及一个外部表面的门。一个密封构件系配置在该门的内部表面上而接近该门的内部表面的一个周边处,且该内部表面的一个部位系从该门处向外延伸且进入该容室之中,用以破坏从该容室之内流向该密封构件的化学品流动。
申请公布号
TW200912171
申请公布日期
2009.03.16
申请号
TW097122494
申请日期
2008.06.17
申请人
葛林陀德德拉威公司
发明人
阿朗 拉许;狄恩 堤勒斯;卡洛勒 崔纳
分类号
F16K51/02(2006.01);H01L21/00(2006.01)
主分类号
F16K51/02(2006.01)
代理机构
代理人
桂齐恒;阎启泰
主权项
地址
美国
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