黏附性吸座及基板结合设备

摘要

本发明提供一种基板结合装置，其包含：一第一室、一第二室、一黏附性模组以及一升降模组，该第一室包括一第一表面板，该第一表面板上系支撑一第一基板；该第二室与该第一室相隔且包括一第二表面板，该第二表面板上系支撑一将结合至该第一基板的第二基板；该黏附性模组提供于该第一表面板上且包括复数个托住该第一基板之黏附性橡胶区域；及该升降模组以升降该些黏附性橡胶区域之至少一者。