一种镍-碳触媒及其制备方法以及以该镍-碳触媒合成奈米碳管之方法

摘要

本发明系提供一种触媒，其系以奈米级厚度之合金薄膜形式附着于一基材上，该触媒金属为镍、碳或其合金，其系利用镍与碳互不相溶之特性以产生触媒晶粒。本发明系利用镍与碳彼此不互溶之特性，可控制合金触媒的尺寸。并利用射频磁控溅镀法将镍与碳镀于矽晶圆上形成奈米级厚度之合金薄膜，此合金薄膜在热化学蒸镀程序上，利用镍与碳彼此不互溶之特性可产生约7-10nm之触媒晶粒，并在700℃及C#sB!2#eB!H#sB!2#eB!气氛下成功合成约25nm之奈米碳管。此外，本发明亦提供一种触媒之制备方法以及根据该触媒合成一奈米碳管之方法。