基材支撑装置及包含该装置之电浆蚀刻装置

摘要

本发明提供一种基材支撑装置以及一种包含该装置之电浆蚀刻装置。本发明提供之一种基材支撑装置，其可设置一用以支撑一基材之电极于该基材支撑装置之一区域并设置一用以接收射频（radio frequency；RF）电源之电极于该基材支撑装置之一边缘区域，藉以分别供电给该区域与该边缘区域。本发明亦提供一种包含该基材支撑装置之基材边缘蚀刻装置，用于移除沈积于一半导体基材之一边缘区域中之层或微粒，并防止于该基材边缘之一蚀刻制程中损坏该半导体基材之一区域。