金属氧化物薄膜之制造方法及制造装置

摘要

本发明系提供一种藉由利用伴随触媒反应之化学能量，无需电能、低成本且高效率地于基板上形成以氧化锌为首之金属氧化物薄膜的技术。向触媒反应装置内导入H#sB!2#eB!气体与O#sB!2#eB!气体、或者H#sB!2#eB!O#sB!2#eB!气体，使其等与触媒接触而获得之H#sB!2#eB!O气体自触媒反应装置中喷出，并与金属化合物气体反应，藉此使金属氧化物薄膜堆积于基板上而制造金属氧化物薄膜。