| 摘要 |
复数个元件，被排置以将来自一物面波长为λ的辐射，成像至一像面；此复数个元件包含反射镜元件，其具有一反射式镜面置放于辐射的一路径上；至少其中一面反射镜元件是一光瞳镜，其具有一光瞳镜面，被安置或靠近在光学系统的一光瞳面。在剩下反射镜元件中，至少其中之一是一高负载镜，其具有一镜面安置在一位置，此位置为所有剩下反射镜入射角的一范围的最大值，及一平均入射角的最大值的两者至少其中之一所发生之处，剩下的反射镜包含所有的反射镜除了光瞳镜之外。此光瞳镜面由一反射式镀膜形成，此镀膜被设计成一维渐进式镀膜，其包含一不同材料层的多层膜堆叠层，这些层具有一几何层厚度，在一第一方向上依照一第一渐进式函数而改变，且此厚度在垂直于第一方向上的第二方向上实质地为一常数。高负载镜的镜面被镀以一反射式镀膜，此镀膜依照一第二渐进式方程式设计成一渐进式镀膜。 |
