发明名称 | 镜片之表面形貌检测方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种镜片之表面形貌检测方法,包括步骤:提供待检测镜片,其具有一待检测表面;于该待检测表面镀覆厚度均匀之增反膜;以反射式干涉仪对待检测镜片镀有增反膜之待检测表面进行形貌检测。本技术方案中之镜片之表面形貌检测方法具有较高准确性。 | ||
申请公布号 | TW200912243 | 申请公布日期 | 2009.03.16 |
申请号 | TW096134451 | 申请日期 | 2007.09.14 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 林大为 |
分类号 | G01B11/24(2006.01);G01M11/00(2006.01) | 主分类号 | G01B11/24(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |