| 摘要 |
本发明之一目的为提供一种电浆处理装置，其能够高度准确地监视包括电浆放电是否被执行、该放电是正常或异常的及是否需要对真空室进行维护工作的操作状态。一放电侦测感测器23附着至一提供于一构成一真空室之盖部2中之开口部2a，在该放电侦测感测器23中，一介电构件21与一探针电极单元22彼此组合。由复数个波形侦测部接收根据一电浆放电之改变而在一探针电极中所引发的一电位改变，且在每当符合一预定不同条件之一电位改变出现时输出一侦测信号。自相应波形侦测部所输出之该侦测信号由该复数个波形侦测部计数，且保存该计数值。根据该计数值，高度准确地监视一操作状态，该操作状态包括电浆放电是否被执行、该放电是正常或异常的，及是否需要对该真空室进行维护工作。 |
