| 摘要 |
本发明的课题是在于提供一种使用同轴管之微波的传送线路。其解决手段是在电浆处理装置(10)中，使从微波源(900)经由分岐导波管(905)来传送至同轴管(600)的微波藉由分岐板(610)分配成复数的微波，而传送至复数个同轴管的内部导体(315a)。传送于各同轴管的内部导体(315a)的微波是从与各内部导体(315a)连结的各介电体板(305)放出至处理容器(100)的内部。藉由所被放出的微波来使导入处理容器(100)的处理气体激发，而对基板(G)实施所望的电浆处理。藉由使用复数的介电体板(305)，可对应于大面积化而提高扩充性，且藉由传送线路使用同轴管，可谋求兼顾传送线路的小型设计及低频率的微波供给。 |
