发明名称 具有加热器的真空量规头配置
摘要 一种真空量规装置,具有一个真空薄膜量规(8)及连接在真空薄膜量规(8)上与要测量的媒介物沟通连接的连接器(5,6)、一个与真空薄膜量规(8)电连接的电子装置(34)、以及一个将真空薄膜量规(8)加热到一个可事先规定的温度值的加热装置(20,21),其中加热装置(20,21)将真空薄膜量规(8)整个围绕住,因而形成一个加热容器(20)。加热容器(20)在连接器(5,6)所在的区域是作为一个被连接器(6)穿过的加热器(20a),连接器(6)至少有部分区域与加热器(20a)形成热接触。加热器(20a)具有一个加热用的热源(21)。加热容器(20)被一个绝热套(22)整个围绕住。
申请公布号 TW200912269 申请公布日期 2009.03.16
申请号 TW097122503 申请日期 2008.06.17
申请人 英飞康股份有限公司 发明人 韩瑟曼汉斯杰寇;克里斯多夫克劳迪;都里士斯坦尼斯拉夫
分类号 G01L7/08(2006.01);G01L9/12(2006.01);H05B3/42(2006.01) 主分类号 G01L7/08(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;王彦评
主权项
地址 瑞士