在电浆氮化处理中的腔室内之前处理方法，电浆处理方法及电浆处理装置

摘要

在电浆氮化处理中于执行被形成在基板上之氧化膜的氮化处理之前，先执行腔室内之前处理的电浆氮化处理中的腔室内之前处理方法，包含：供给含有氧之处理气体至腔室内，并予以电浆化，而在腔室内生成氧化电浆之工程（步骤1），和供给含有氮之处理气体至腔室内，并予以电浆化，而在腔室内生成氮化电浆之工程（步骤2）。