基板运送装置

摘要

一种基板运送装置包含：一第一无轴回转马达，包括一第一定子及一第一转子，该第一定子系成线型配置，且该第一转子乃耦合至一第一臂；一第二无轴回转马达，包括一第二定子及一第二转子，该第二定子系成线型配置，且该第二转子乃耦合至一第二臂，该第二臂则连结至该第一臂；及一第一基板支架，系耦合于至少第一及第二臂之一；其中该第一定子与第二转子乃安排以使该第一定子及第二定子基本上围绕于第一及第二臂周围。