金属矽氮化物膜的电浆增强循环性沉积方法

摘要

本发明涉及电浆增强循环沉积金属矽氮化物膜的方法，具体涉及在电浆环境中按照循环膜沉积使用金属醯胺化物、矽前驱物和氮源气体作为前驱物形成金属矽氮化物膜的方法。在基材上形成金属矽氮化物膜的沉积方法包含以下步骤：脉冲加入金属醯胺化物前驱物；吹扫出未反应的金属醯胺化物；将氮源气体引入在电浆环境下的反应室；吹扫出未反应的氮源气体；脉冲加入矽前驱物；吹扫出未反应的矽前驱物；将氮源气体引入到在电浆环境下的反应室中；和吹扫出未反应的氮源气体。