| 发明名称 |
适用于酸产生剂之盐以及含有该盐之化学放大正型抗蚀剂组成物 |
| 摘要 |
本发明系提供一种式(I)所示之盐：#P 097127269P01.bmp其中，Q#sP!1#eP!及Q#sP!2#eP!各独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基，T表示亚甲基或羰基，R表示经至少一个选自由C1-C4烷基、C1-C4烷氧基、羟基、羟基甲基、氰基及侧氧基所成群组之取代基所取代之金刚烷基，及A#sP!+#eP!表示有机抗衡离子(counter ion)。本发明复提供一种包括上述式(I)所示之盐之化学放大正型抗蚀剂组成物。 |
| 申请公布号 |
TW200911743 |
申请公布日期 |
2009.03.16 |
| 申请号 |
TW097127269 |
申请日期 |
2008.07.18 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
武元一树 |
| 分类号 |
C07C309/19(2006.01);C07C381/12(2006.01);G03F7/039(2006.01);G03F7/004(2006.01) |
主分类号 |
C07C309/19(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
