乾燥基板的装置及方法

摘要

一种使用异丙醇（IPA）乾燥基板之方法包括：预备阶段，其间，在将有机溶剂喷射至基板的顶面以及将乾燥气体喷射至其顶面的同时，将加热之流体喷射至基板之底面以提高基板之温度，以改良有机溶剂之蒸发动力；以及最终阶段，其间停止加热之流体的喷射，而将有机溶剂以及乾燥气体喷射至基板之顶面。