| 摘要 |
本发明之基板搬送机系具备：移动台(32)，系以可朝水平方向移动之方式配置于底座(14)上，且在一侧授受基板(G)时位于一侧；支持装置(S)，系配置在移动台(32)上，且具有用于以可朝水平方向移动之方式支持基板(G)之支持区域；移动装置(T)，系为了在一侧授受基板(G)，而横切一侧之前述支持区域的前端而使支持区域上之基板(G)朝水平方向移动；支柱(16)，系立设在底座(14)；及手部(H)，系为了在相反侧授受基板(G)并且使搬送过程之基板(G)在其与支持装置(S)之间转换，而以可朝水平方向移动、且以上下方向观之可横切支持区域而昇降之方式，安装至支柱(16)。支持区域系在一侧具有从移动台(32)突出之延伸部。 |
