ZERSTÄUBUNGSVORRICHTUNG MIT EINER ROHRKATHODE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DIESER ZERSTÄUBUNGSVORRICHTUNG,申请号AT20050028124T-传众专利搜索

发明名称	ZERSTÄUBUNGSVORRICHTUNG MIT EINER ROHRKATHODE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DIESER ZERSTÄUBUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号	AT425548(T)	申请公布日期	2009.03.15
申请号	AT20050028124T	申请日期	2005.12.22
申请人	APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG	发明人	HENRICH, JUERGEN;SAUER, ANDREAS;GEISS, ANDREAS;BRINCKMANN, FELIX
分类号	H01J37/34;C23C14/34	主分类号	H01J37/34
代理机构		代理人
主权项
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