发明名称 PLASMAVERSTÄRKER FÜR PLASMABEHANDLUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 AT424622(T) 申请公布日期 2009.03.15
申请号 AT20060721937T 申请日期 2006.04.28
申请人 OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH 发明人 MASSLER, ORLAW;EBERLE, HUBERT;GSCHWEND, PATRICK
分类号 H01J37/32;C23C16/26 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址