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经营范围
发明名称
PLASMAVERSTÄRKER FÜR PLASMABEHANDLUNGSANLAGE
摘要
申请公布号
AT424622(T)
申请公布日期
2009.03.15
申请号
AT20060721937T
申请日期
2006.04.28
申请人
OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH
发明人
MASSLER, ORLAW;EBERLE, HUBERT;GSCHWEND, PATRICK
分类号
H01J37/32;C23C16/26
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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