发明名称 MIKROSYSTEMTECHNISCHES BAUELEMENT MIT EINER UNTER DEM EINFLUSS VON TEMPERATURÄNDERUNGEN VERFORMBAREN EINRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT425444(T) 申请公布日期 2009.03.15
申请号 AT20060705760T 申请日期 2006.01.04
申请人 UNIVERSITAET KASSEL 发明人 RANGELOW, IVO;IVANOV, TZVETAN;IVANOVA, KATERINA
分类号 G01J5/40 主分类号 G01J5/40
代理机构 代理人
主权项
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