| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SPUTTERTARGETS UND SPUTTERTARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT425277(T) |
申请公布日期 |
2009.03.15 |
| 申请号 |
AT20030776474T |
申请日期 |
2003.10.20 |
| 申请人 |
CABOT CORPORATION |
发明人 |
WICKERSHAM, CHARLES;WORKMAN, DAVID |
| 分类号 |
C23C14/34;B21K25/00;B23K1/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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