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发明名称 Apparatus for generating plasma
摘要
申请公布号 KR100888807(B1) 申请公布日期 2009.03.13
申请号 KR20070050013 申请日期 2007.05.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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