发明名称 MICRO SYSTEME COMPRENANT UNE POUTRE DEFORMABLE PAR FLEXION ET PROCEDE DE FABRICATION
摘要 Un micro système mécanique comportant une poutre (140) s'étendant suivant une direction longitudinale (O-y) déformable par flexion, et au moins un élément magnétique (201, 202) créant un champ magnétique. La poutre flexible comporte :- une premier circuit (10) comportant une première géométrie générant, lorsqu'il est parcouru par un courant, une force agissant sur ladite poutre en un endroit spécifique de manière à provoquer un premier mode vibratoire ;- un second circuit (20) comportant une seconde géométrie distincte de la première, et générant, lorsqu'il est parcouru par un courant, une force agissant sur ladite poutre en un second endroit provoquant un second mode vibratoire.
申请公布号 FR2920754(A1) 申请公布日期 2009.03.13
申请号 FR20070006269 申请日期 2007.09.07
申请人 STMICROELECTRONICS SA SOCIETE ANONYME 发明人 ABELE NICOLAS
分类号 B81B3/00;B81C1/00;H03H9/24 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址