| 发明名称 |
Method and/or system for forming a thin film |
| 摘要 |
Embodiments of methods, apparatuses, devices, and/or systems for forming a thin film are described.
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| 申请公布号 |
US2009068800(A1) |
申请公布日期 |
2009.03.12 |
| 申请号 |
US20080249242 |
申请日期 |
2008.10.10 |
| 申请人 |
NELSON CURT;PUNSALAN DAVID;NYHOLM PETER S |
发明人 |
NELSON CURT;PUNSALAN DAVID;NYHOLM PETER S. |
| 分类号 |
H01L21/336;A61K31/54;B05D3/06;H01L21/31;H01L21/469 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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