发明名称 VERTIKAL-FELDEFFEKTTRANSISTOREN MIT IN EINEM ABSTANDSSCHICHTDEFINIERTEN DURCHGANG AUFGEWACHSENEN HALBLEITENDEN NANORÖHREN
摘要
申请公布号 DE602005005302(T2) 申请公布日期 2009.03.12
申请号 DE20056005302T 申请日期 2005.01.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 FURUKAWA, TOSHIHARU;HAKEY, MARK CHARLES;HOLMES, STEVEN JOHN;HORAK, DAVID VACLAV;MITCHELL, PETER;NESBIT, LARRY ALAN
分类号 H01L51/30;H01L21/78;H01L27/28 主分类号 H01L51/30
代理机构 代理人
主权项
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