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发明名称 Keramisches Sinterprodukt und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE19849340(B4) 申请公布日期 2009.03.12
申请号 DE1998149340 申请日期 1998.10.26
申请人 KYOCERA CORP.;NIKON CORP. 发明人 SECHI, YOSHIHISA;SATO, MASAHIRO;AIDA, HIROSHI;KOHSAKA, SHOJI;HAYASHI, YUTAKA
分类号 C04B35/195;H01L21/68;H01L23/15 主分类号 C04B35/195
代理机构 代理人
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