发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Kondensators in einem Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE10163345(B4) 申请公布日期 2009.03.12
申请号 DE20011063345 申请日期 2001.12.21
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, KEE JEUNG;HONG, BYUNG SEOP
分类号 H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/314;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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