发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Kondensators in einem Halbleiterbauelement |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10163345(B4) |
申请公布日期 |
2009.03.12 |
申请号 |
DE20011063345 |
申请日期 |
2001.12.21 |
申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
LEE, KEE JEUNG;HONG, BYUNG SEOP |
分类号 |
H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/314;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/8242 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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