发明名称 ZWITTERIONIC BLOCK COPOLYMERS AND METHODS
摘要 Zwitterionic block copolymers having oppositely charged or chargeable terminal groups, and methods of making and using the same, are disclosed. The zwitterionic block copolymers can undergo microphase separation.
申请公布号 WO2009032448(A2) 申请公布日期 2009.03.12
申请号 WO2008US71916 申请日期 2008.08.01
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC.;MILLWARD, DAN, B.;MARSH, EUGENE, P. 发明人 MILLWARD, DAN, B.;MARSH, EUGENE, P.
分类号 C08F293/00;G03F7/00;H01L21/28 主分类号 C08F293/00
代理机构 代理人
主权项
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