DEVICE AND METHOD FOR XUV MICROSCOPY

摘要

Die Erfindung betrifft ein optisches Abbildungssystem aufweisend eine erste Vergrößerungsstufe, mit der ein Zwischenbild zumindest eines Teilbereichs eines Objektes unter Erzielung einer ersten Vergrößerung mittels von dem Objekt ausgehender XUV-Strahlung erzeugbar ist, zumindest eine zweite Vergrößerungsstufe, sowie einen für XUV-Strahlung empfindlichen Detektor, wobei mit der zweiten Vergrößerungsstufe das Zwischenbild unter Erzielung einer zweiten Vergrößerung auf den Detektor abbildbar ist, und wobei die zweite Vergrößerungsstufe eine Zonenplatte umfasst.