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发明名称 DADURCH HERGESTELLTE STRUKTUR
摘要
申请公布号 DE60326005(D1) 申请公布日期 2009.03.12
申请号 DE20036026005 申请日期 2003.12.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FOURNEL, FRANCK;MORICEAU, HUBERT;ASPAR, BERNARD;ZUSSY, MARC
分类号 H01L21/18;H01L21/762 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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