METHOD FOR THE PRODUCTION OF DLC LAYERS AND DOPED POLYMERS OR DIAMOND-LIKE CARBON LAYERS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer DLC-Schicht auf einem Substrat. Erfindungsgemäß wird auf einem Substrat eine polymere Kohlenstoff- und Wasserstoff-haltige Zwischenproduktschicht aufgebracht, und anschließend wird die Zwischenproduktschicht auf dem Substrat in einer Plasmakammer zur Umwandlung der Zwischenproduktschicht in eine DLC-Schicht mit Ionen behandelt. Daneben werden Substrate mit einer dotierten DLC-Schicht oder mit einer dotierten Zwischenproduktschicht vorgeschlagen.