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Der Erfindung, die eine senkrechte Positionierung einer Probecard relativ zu einem Testsubstrat betrifft, wobei eine Separationsposition gespeichert wird, die in einem ersten Positionierschritt unter Erzeugung eines Abstandes zwischen Nadelspitzen der Probecard und Substrat angefahren wird, eine Kontaktposition gespeichert wird, die in einem zweiten Positionierschritt bis zur Kontaktierung der Probecard mit dem Substrat angefahren wird, und ein Abbild der Nadelspitzen angezeigt wird, liegt die Aufgabe zugrunde, nach einem Wechsel einer Probecard eine Fehlbedienung zu vermeiden. Dies wird gelöst, indem in der Abbildung der Nadelspitzen eine Abbildung der gespeicherten Kontaktposition erfolgt und diese geändert wird, bis die Darstellung dieser Kontaktposition der für die jeweilige Probecard entsprechenden tatsächlichen Höhe der Kontakte entspricht und danach diese Einstellung als neue Kontaktposition gespeichert wird. Hierzu ist vorgesehen, dass, eine die Nadelspitzen und die gespeicherte Kontaktposition darstellende Anzeigeeinrichtung mit dem Speicher und einer Aufnahmeeinrichtung verbunden ist, die ein die Kontaktposition veränderndes Eingabemittel aufweist.
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