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发明名称 Neue Esterverbindungen, Polymere, Resistzusammensetzungen und Strukturierungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60041428(D1) 申请公布日期 2009.03.12
申请号 DE2000641428 申请日期 2000.02.25
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 KINSHO, TAKESHI;NISHI, TSUNEHIRO;KURIHARA, HIDESHI;NAKASHIMA, MUTSUO;HASEGAWA, KOJI;WATANABE, TAKERU
分类号 G03F7/039;C07C69/00;C07C69/75;C07C69/753;C08F20/68;C08F32/08;C08F34/00;C08F220/00;C08G61/08;C08L65/00;C09D167/00;G03F7/004;G03F7/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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