气体流量控制装置校验的方法

摘要

本发明公开了一种气体流量控制装置校验的方法，用于在线校验气体流量控制装置MFC的误差，所述气体流量控制安装于向反应室供应工艺气体的气路上，包括以下步骤：首先将反应室抽到真空状态；然后设置被校验MFC流量为Qv，向反应室通入工艺气体，同时向反应室通入固定流量Qs的参考气体；再通过测定反应室压力的变化，根据理想气态方程公式PV＝nRT推导出进入反应室的气体的总的流量Q；之后根据公式Qp＝Q-Qs求得进入反应室的工艺气体的流量Qp，并将Qp与Qv进行比较，以校验MFC的流量误差。校验准确、精度高、校验时间短，不受环境温度和腔室容积影响，尤其适用于小流量MFC的校验。

主权项

1、一种气体流量控制装置校验的方法，用于在线校验气体流量控制装置MFC的误差，所述气体流量控制器安装于向反应室供应工艺气体的气路上，其特征在于，包括以下步骤:A、将反应室抽到真空状态；B、设置MFC的气体流量Qv，并通过MFC向反应室通入工艺气体，同时向反应室通入固定流量Qs的参考气体；C、通过测定反应室压力的变化，根据理想气态方程公式:PV＝nRT推导出进入反应室的气体的总的流量Q，其中，P为所述进入反应室的气体压强；V为所述进入反应室的气体体积；n为所述进入反应室的气体物质的量；T为所述进入反应室的气体的绝对温度；R为所述进入反应室的气体常量；D、根据公式Qp＝Q-Qs求得进入反应室的工艺气体的流量Qp，并将Qp与所设置的MFC气体流量Qv进行比较，以校验MFC的测量误差。