发明名称 制造系统、制造方法、操作制造设备的方法及发光器件
摘要 提供了一种能够提高发光器件的可靠性和亮度的制造系统,它使用很高纯度的蒸发用的EL材料。该系统还能有效使用EL材料代替玻璃瓶,使用放入蒸发装置中的容器(第一容器11a),并且材料制造商(18)直接在容器中存储EL材料(12),或者通过升华来提纯和存储。容器然后输送到发光器件制造者(19)处进行蒸发。用该制造系统,可以防止杂质污染高纯度的EL材料。该系统还消除了从玻璃瓶给容器输送EL材料的麻烦。该容器可以由材料制造商回收,并且剩余在容器中的EL材料可以被收集,由制造系统重复使用。
申请公布号 CN100468823C 申请公布日期 2009.03.11
申请号 CN03121782.6 申请日期 2003.01.31
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 村上雅一;大谷久;山崎舜平;桑原秀明
分类号 H01L51/56(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I 主分类号 H01L51/56(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 郑立柱;叶恺东
主权项 1. 一种制造方法包括:在材料制造商处提纯蒸发材料;在材料制造商处,在第一容器中存储蒸发材料,并且在第二容器中密封存储蒸发材料的第一容器;传送第二容器到发光器件制造商处;在发光器件制造商处将第二容器放入制造装置,并且从第二容器中取出第一容器;以及为了蒸发,加热在制造装置中的第一容器。
地址 日本神奈川县厚木市