发明名称 |
制造系统、制造方法、操作制造设备的方法及发光器件 |
摘要 |
提供了一种能够提高发光器件的可靠性和亮度的制造系统,它使用很高纯度的蒸发用的EL材料。该系统还能有效使用EL材料代替玻璃瓶,使用放入蒸发装置中的容器(第一容器11a),并且材料制造商(18)直接在容器中存储EL材料(12),或者通过升华来提纯和存储。容器然后输送到发光器件制造者(19)处进行蒸发。用该制造系统,可以防止杂质污染高纯度的EL材料。该系统还消除了从玻璃瓶给容器输送EL材料的麻烦。该容器可以由材料制造商回收,并且剩余在容器中的EL材料可以被收集,由制造系统重复使用。 |
申请公布号 |
CN100468823C |
申请公布日期 |
2009.03.11 |
申请号 |
CN03121782.6 |
申请日期 |
2003.01.31 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
村上雅一;大谷久;山崎舜平;桑原秀明 |
分类号 |
H01L51/56(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
郑立柱;叶恺东 |
主权项 |
1. 一种制造方法包括:在材料制造商处提纯蒸发材料;在材料制造商处,在第一容器中存储蒸发材料,并且在第二容器中密封存储蒸发材料的第一容器;传送第二容器到发光器件制造商处;在发光器件制造商处将第二容器放入制造装置,并且从第二容器中取出第一容器;以及为了蒸发,加热在制造装置中的第一容器。 |
地址 |
日本神奈川县厚木市 |