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发明名称 METHOD FOR THE PRODUCTION OF A COATED OBJECT BY SPUTTERING A CERAMIC TARGET
摘要
申请公布号 EP2032734(A1) 申请公布日期 2009.03.11
申请号 EP20070764928 申请日期 2007.06.28
申请人 INTERPANE ENTWICKLUNGS- UND BERATUNGSGESELLSCHAFTMBH & CO. KG 发明人 SEVERIN, DANIEL;WUTTIG, MATTHIAS;HERLITZE, LOTHAR;WEIS, HANSJOERG
分类号 C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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