发明名称 |
钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结及制备方法 |
摘要 |
钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结及制备方法属于半导体材料制造领域。本发明首次采用磁控溅射法制备出钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结。该p-n结的结构为Si(100)单晶基片(1)衬底,Pt电极层(2)、ZnO薄膜(3)、及LSMO薄膜(4)。本发明制备的LSMO/ZnO p-n结不仅在40-320K的温度范围内都具有优异的整流特性,解决了现有技术利用PLD成本高,不利于应用于大规模工业生产的问题。本发明方法所获得的钙钛矿结构镧锰氧化物异质p-n结在自旋电子器件领域具有良好的应用潜能。 |
申请公布号 |
CN100468781C |
申请公布日期 |
2009.03.11 |
申请号 |
CN200710099092.3 |
申请日期 |
2007.05.11 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
张铭;陆然;代红云;严辉;王波;宋雪梅 |
分类号 |
H01L29/861(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/861(2006.01)I |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 |
代理人 |
刘 萍 |
主权项 |
1. 一种钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结,其特征在于:其结构从下到上为Si晶向(100)单晶基片(1)衬底,Pt电极层(2)、ZnO薄膜(3)、及LSMO薄膜(4),在Pt电极层(2)和LSMO薄膜(4)上分别沉积Ag电极(5)。 |
地址 |
100022北京市朝阳区平乐园100号 |