发明名称 钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结及制备方法
摘要 钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结及制备方法属于半导体材料制造领域。本发明首次采用磁控溅射法制备出钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结。该p-n结的结构为Si(100)单晶基片(1)衬底,Pt电极层(2)、ZnO薄膜(3)、及LSMO薄膜(4)。本发明制备的LSMO/ZnO p-n结不仅在40-320K的温度范围内都具有优异的整流特性,解决了现有技术利用PLD成本高,不利于应用于大规模工业生产的问题。本发明方法所获得的钙钛矿结构镧锰氧化物异质p-n结在自旋电子器件领域具有良好的应用潜能。
申请公布号 CN100468781C 申请公布日期 2009.03.11
申请号 CN200710099092.3 申请日期 2007.05.11
申请人 北京工业大学 发明人 张铭;陆然;代红云;严辉;王波;宋雪梅
分类号 H01L29/861(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L29/861(2006.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 代理人 刘 萍
主权项 1. 一种钙钛矿结构镧锰氧化物/氧化锌异质p-n结,其特征在于:其结构从下到上为Si晶向(100)单晶基片(1)衬底,Pt电极层(2)、ZnO薄膜(3)、及LSMO薄膜(4),在Pt电极层(2)和LSMO薄膜(4)上分别沉积Ag电极(5)。
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