发明名称 光感测元件及其制作方法
摘要 本发明涉及一种光感测元件,包含金属导电层、界面介电层、富硅介电层以及透明导电层。界面介电层形成于金属导电层上,富硅介电层形成于界面介电层上,而透明导电层则是形成于富硅介电层上。本发明可以改善其中光电流与光线照度无法呈现线性关系的问题,以增进光感测元件的品质。
申请公布号 CN101383387A 申请公布日期 2009.03.11
申请号 CN200810170472.6 申请日期 2008.11.06
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 陈信学;刘婉懿;彭佳添;许宗义;曾任培
分类号 H01L31/08(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/08(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 陈 晨;张浴月
主权项 1. 一种光感测元件,包含:一金属导电层;一界面介电层,形成于该金属导电层上;一富硅介电层,形成于该界面介电层上;以及一透明导电层,形成于该富硅介电层上。
地址 中国台湾新竹市