| 发明名称 | 微波等离子体源和等离子体处理装置 | ||
| 摘要 | 微波等离子体源(2)包括：将微波在被分配为多个的状态下进行输出的微波输出部(30)、和将被分配为多个的微波导入上述腔室内的多个天线模块(41)。各天线模块(41)具备：具有放大微波的放大器(47)的放大器部(42)；具有将放大的微波向腔室内放射的天线(51)的天线部(44)；和进行微波的传输路上的阻抗调整的调谐器(43)。调谐器(43)与天线部(44)被一体设置，并接近放大器(47)设置。 | ||
| 申请公布号 | CN101385129A | 申请公布日期 | 2009.03.11 |
| 申请号 | CN200780005694.6 | 申请日期 | 2007.07.20 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 河西繁 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I;C23C16/511(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1. 一种微波等离子体源，用于在腔室内形成微波等离子体，其特征在于，包括：用于输出微波的微波输出部；具有放大微波的放大器的放大器部；具有将放大的微波向所述腔室内放射的天线的天线部；和进行微波的传输路上的阻抗调整的调谐器，其中，所述调谐器与所述天线部一体设置，并接近所述放大器设置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||