半导体材料残余应力的测试装置及方法

摘要

一种半导体材料内部残余应力的测试装置，包括：一信号采集系统，该信号采集系统用于对采集的信号进行处理，得到样品的应力分布情况；一光学检偏棱镜，该光学检偏棱镜与信号采集系统连接；一光学起偏棱镜，该光学起偏棱镜置于光学检偏棱镜之前；一光弹性调制器，该光弹性调制器置于光学检偏棱镜和光学起偏棱镜之间；一激光光源，该激光光源提供光学系统的信号源。

主权项

1、一种半导体材料残余应力的测试装置，其特征在于，包括：一信号采集系统，该信号采集系统用于对采集的信号进行处理，得到样品的应力分布情况；该信号采集系统包括：一探测器，该探测器接收检偏棱镜的出射光；三台锁相放大器，每台锁相放大器的输入端均与探测器连接；一数据采集卡，该数据采集卡接收三台锁相放大器的输出信号；一计算机，该计算机对数据采集卡采集到的信号进行运算处理；一电控微动平移台，该电控微动平移台接收计算机的指令，控制样品位置的变换；一光学检偏棱镜，该光学检偏棱镜置于探测器之前；一光学起偏棱镜，该光学起偏棱镜置于光学检偏棱镜之前；一光弹性调制器，该光弹性调制器置于光学检偏棱镜和光学起偏棱镜之间；一激光光源，该激光光源提供光学系统的信号源。